FOUP - FOUP

FOUP jest skrótem F strony czo łowej O pening U nified P OD lub F strony czo łowej O pening U niversal P Od.

Jest to wyspecjalizowane obudowa z tworzywa sztucznego przeznaczone do przechowywania krzemowych wafli pewnie i bezpiecznie w kontrolowanym środowisku, oraz w celu umożliwienia wafle mają być przenoszone między maszynami do przetwórstwa lub pomiaru.

FOUPs zaczęły się pojawiać wraz z pierwszych narzędzi do przetwarzania wafli 300mm w połowie 1990 roku. Wielkość płytek i ich porównawcza brak sztywności oznaczało, że SMIF nie była opłacalna technologia. FOUPs zostały zaprojektowane z ograniczeń 300mm na uwadze, ze zdejmowana kaseta zostaje zastąpiony przez płetw w FOUP które posiadają wafle w miejscu, a otwarcie drzwi na dole zostaje zastąpiony przez przednią otwierania drzwi, aby umożliwić mechanizmy manipulacyjne robota aby uzyskać dostęp do wafli bezpośrednio z FOUP. Masę pełnym obciążeniem 25 płytek FOUP na około 9 kilogramów oznacza, że zautomatyzowane systemy transportu materiałów są niezbędne do niemal najmniejsza roślin wytwarzania. Aby to umożliwić, każda FOUP ma różne talerze sprzęgła, szpilki i otworów, aby umożliwić FOUP być zlokalizowany na porcie obciążenia, a być manipulowane przez AMHS (Automated Magazynowanie System). FOUPs mogą również zawierać RF znaczniki, które pozwolą im być identyfikowane przez czytelników na narzędzia, w AMHS itp FOUPs są dostępne w kilku kolorach, w zależności od klienci chcą.